薄膜氣缸是為陽極夾具的陽極母線提升框架而設(shè)計的重量輕、體積小的推動氣缸。
    組成：下蓋、上蓋、橡膠膜片、活塞桿、彈簧、卡箍。
    特點：結(jié)構(gòu)簡單。密封性能好、體積小、重量輕、維護(hù)方便等優(yōu)點，其重量只有同等推力的活塞氣缸重量的三分之一。
    附圖說明：

    具體實施方式：下蓋用鋼板沖壓成型，兩顆氣缸安裝用連接螺栓焊接在下蓋上；上蓋用鋼板沖壓成形，進(jìn)氣口與上蓋焊接連接；橡膠膜片采用模壓成型，膜片既起代替活塞的作用，同時也是氣缸的密封件；活塞桿與橡膠膜片連接；彈簧套在活塞桿上，上端頂在橡膠膜片下，下端頂在下蓋上，彈簧用于活塞桿的復(fù)位；卡箍用鋼板沖壓成型，器橫斷面成喇叭狀。
    裝配時，擰緊卡箍上的螺栓和螺母，上蓋和下蓋在卡箍的作用下，同時壓緊橡膠膜片，從而實現(xiàn)氣缸的密封。